我們知道地球大氣層上有一層臭氧層，科學家們已經發現臭氧層能吸收紫外線，研究表明臭氧對波長253.7nm的紫外線大吸收系數，在此波長下紫外線通過臭氧會產生衰減，符合蘭波特——比爾定律。該方法已被美國等作為臭氧標準分析方法。
臭氧分析儀是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，能得出臭氧濃度大小。
臭氧分析儀在檢測中應注意的事項
1.采樣管材料應選用抗強氧化的材料,如玻璃、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯;不銹鋼材料也盡量少用,以減少采樣管中臭氧損耗.
2.采樣管應盡量短,測量低濃度時一般不要超過2m.
3.從采樣管到檢測儀器,不要漏氣,否則測量值偏低.
4.檢測較低濃度(如檢測環境)臭氧時,新的聚四氟乙烯管也要充分的進行“臭氧化”,即通過含較高濃度臭氧的氣體來穩定采樣管內壁.日本荏原公司認為要20min以上才能穩定,而美國莫尼特公司要求數小時.
5.采樣管要定時清洗、吹干.不清潔的采樣管會使測量值偏低很多.
6.臭氧分析儀要定時進行標定,以測量數據.
