美國AII GPR-1600UHP ppb超微量氧分析儀在半導體電子工業高純氣體中的應用

關鍵詞：美國AII，GPR-1600UHP, ppb,

微量氧分析儀，電子，半導體，氧含量

在半導體等電子工業中，如成電路芯片廠中所使用的氣體按用量的大小可分為二種，用量較大的稱為大宗氣體（Bulk gas），用量較小的稱為特種氣體（Specialty gas）。大宗氣體有：氮氣、氧氣、氫氣、氬氣和氦氣。其中氮氣在整個工廠中用量大，依據不同的需求，又分為普通氮氣和工藝氮氣為每一步生產工藝提供所需求的載氣以及電子特種氣體的保障，美國AII氧分析儀</a>公司的微量氧分析儀常常被用于半導體氣體中的微量氧含量檢測。

一般來說在電子級氣體中的微量水和微量氧含量等雜質的要求一般要小于5000-10000ppb,正因為對于氣體如此高的純度要求，為了保障氣體的純度，美國AII氧分析儀的GPR-1600UHP痕量氧分析儀（超微量氧分析儀）得到了廣泛的使用和。

超微量氧分析儀技術參數：

GPR-1600UHP PPB級氧分析儀是一款在線進行分析,應用：對惰性氣體，He，H2，混合氣體及CO2中的氧含量進行100ppb1%微量分析

PPb氧分析儀技術參數

精度：恒定條件下&lt;1%滿量程

范圍：0-100ppb，0-1、10、100ppmFS；自動切換或手動

可調應用：對高純惰性氣體，碳氫氣體，He，H2中的氧含量進行0.5ppb-100ppm分析

認證：CE

區域等級：普通用途報警：2路繼電器報警輸出

標定：使用濃度大約為80%量程或更高的經過認證的標準

氣體補償：壓力及溫度補償，可選溫控系統

接口：進樣及標定口為1/4VCR接頭，出品為1/4 壓緊管接口

控制：量程選擇開關，鍵，標定,報警及系統功能

數據采集：可選數據點顯示：5＂2.75＂；

分辨率：0.5ppb；實時顯示溫度及壓力安裝

尺寸：鋁材13.9＂9.9＂13.4＂

流量影響：0.5-1.5 L/M,流量:1 L/M 線性：.995*量程

壓力：進樣20-50 psig；大150 psig；排空-不超過5水柱的大氣壓

電源：220VAC

適用范圍：

石油化工、電子電力等行業中高純氧的分析；

空分高純氧監測；

冶煉行業；

行業；

微電子、半導體、航天及軍工等領域；

制氫／制氮／C02設備，凈化／干燥設備等；

產品特點：

1）穩定的O2分析

Adv公司的GPR-1600UHP級氧氣變送器/分析儀標志著氧氣分析達到了新的水平。創新設計的傳感器結構及外殼、模塊化設計的電子器件部分以及的燃料電池（電化學）傳感器技術，給予使用者低的花費，高的收益。

2）兩線制電源4~20mA回路模擬輸出

GPR-1600UHP提供了一個通過兩線制9~36V供電回路的4~20mA信號輸出及兩個可調節的變送器報警輸出連接。4~20mA輸出可使得外部設備重現滿量程的氧氣含量讀數。

3）通用長壽命傳感器，全量程線形化可進行空氣/量程氣校準

變送器/分析儀的心臟部分是一個的燃料電池式電化學傳感器，并以及線形化和設定。優異的傳感器使用性能和，應用的正常使用壽命為24個月。

4）LCD顯示

為了使變送器/分析儀的校準、現場氧含量讀取更為方便，樣氣中氧O2的濃度讀取是由一個三位半的LCD顯示器顯示的。