臭氧分析儀主要由低壓紫外燈、入射紫外光反射器、光波過濾器、臭氧吸收池、采樣光電傳感器、樣品光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。是根據Lambert and Beer定律推出的。在這個臭氧濃度計算公式中，只要知道樣品電流、采樣電流和臭氧吸收池距離，那么我們可以計算出臭氧濃度大小。由于臭氧吸收池的距離的限制，大臭氧濃度只能測到300 O3 g/m。

    采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，能得出臭氧濃度大小。

    臭氧分析儀的特點：

    1、高精度10ppb@0-0.1ppm或者+/-10%@0-5ppm

    2、快速的T90響應時間35-95秒

    3、使用，功能強大（數據記錄,自診斷功能,可互換傳感器頭）

    4、泵吸式采樣，減少臭氧損失，測量值更穩定

    5、接近UV分析儀的精度，更的

    6、用戶可以自行校準零點